积分:0分 关键词:离子注入,射程,核碰撞,电子碰撞,沟道注入,复合靶注入,损伤,退火,移位原子数,P阱,CMOS
积分:0分 关键词:靶,离子,射程,阻止本领
积分:0分 关键词:离子注入,射程,入射离子分布,工艺设备
积分:0分 关键词:离子注入,射程,核碰撞,库仑散射,入射离子