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离子注入技术

资料介绍
离子注入技术
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第四章 离子注入工艺

§1 离子注入工艺设备及原理

一．离子注入工艺设备结构



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图4.1 离子注入机结构




图 4.2离子注入机原理图
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(一)射程的概念


二、离子注入工艺原理




2003-4-28 6




此处是标题 1
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(二) 核碰撞和电子碰撞




2003-4-28 7 2003-4-28
标签：离子注入，射程，核碰撞，电子碰撞，沟道注入，复合靶注入，损伤，退火，移位原子数，P阱，CMOS
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