资料介绍
薄膜单点力传感器 薄膜单点力传感器*
周高峰 赵玉龙 蒋庄德
（西安交通大学 机械制造系统工程国家重点实验室 西安 710049）
摘要:针对处于点啮合状态下物体间啮合力的检测问题，提出薄膜单点力传感器。根据物体间啮合力较大的实际检测状况，
利用碳二硫化钼压敏电阻油墨的轴向实心柱式压阻效应实现对点啮合物体间啮合力的检测。在研究现有成熟的丝网印制工艺
基础上，通过丝网印制技术制作了薄膜单点力传感器，其厚度为 0.15 mm。试验测试与分析可知：薄膜单点力传感器能够检
测出点啮合物体间的啮合力；并且该传感器具有良好的性能，如灵敏度为 962.5Ω/N，分辨力为 0.002 N。
关键词：薄膜力传感器 点啮合 压敏电阻油墨 丝网印制
中图分类号:TP212.1
Thin Film Single-point Force Sensor
ZHOU Gaofeng, ZHAO Yulong, JIANG Zhuangde
（State Key Laboratory for Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xi’an 710049）
Abstract：Aim at meshing force detection between single-point meshing objects, thin film single-point forc
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