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面向BTI特征分析的在运行中阈值电压测量
上传用户:
无限幻想
上传日期:2012-06-22
文件类型:PDF
文件大小:526.54K
资料积分:0分
积分不够怎么办?
资料介绍
传统CMOS工艺缩放技术的发展正逐渐逼近极限,迫切需要采用新材料和新器件设计 A G R E A T E R M E A S U R E O F C O N F I D E N C E
最小。间歇式测量通过只用三项测量
来减少“无应力(off-stress)”时
面向BTI特征分析的在 间,如图1所示。几乎所有的参数测
量系统都支持这种技术。但是,大多
运行中阈值电压测量 数GPIB控制的仪器都缺乏灵活性,并
且受限于GPIB通信时间和仪器的内部
速度。因此,器件在测量过程中仍会
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面向BTI特征分析的在运行中阈值电压测量
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