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测试测量技术
载流子迁移率测量方法总结
0 引言
迁移率是衡量半导体导电性能的重要参数，它决定半导体材料的电导率，影响器件的工
作速度。已有很多文章对载流子迁移率的重要性进行研究，但对其测量方法却少有提到
。本文对载流子测量方法进行了小结。
1 迁移率μ的相关概念
在半导体材料中，由某种原因产生的载流子处于无规则的热运动，当外加电压时，导体
内部的载流子受到电场力作用，做定向运动形成电流，即漂移电流，定向运动的速度成
为漂移速度，方向由载流子类型决定。在电场下，载流子的平均漂移速度v与电场强度E
成正比为：
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式中μ为载流子的漂移迁移率，简称迁移率，表示单位电场下载流子的平均漂移速度，单
位是m2／V·s或cm2／V·s。
迁移率是反映半导体中载流子导电能力的重要参数，同样的掺杂浓度，载流子的迁移率
越大，半导体材料的导电率越高。迁移率的大小不仅关系着导电能力的强弱，而且还直
接决定着载流子运动的快慢。它对半导体器件的工作速度有直接的影响。
在恒定电场的作用下，载流子的平均漂移速度只能
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