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扩散讲稿补充两步扩散

资料介绍
扩散讲稿补充两步扩散
3. 两步扩散
两步扩散如何计算？
预淀积（或预扩散）：温度低、时间短
主淀积（或推进）：温度高、时间长
预淀积（或预扩散）现已普遍被离子注
入代替




两步扩散的计算： 经过时间t后，进入杂质得总量Q由对X积
1.恒定表面浓度扩散 分得到：
恒定表面浓度扩散，其初始及边界条件为： 2
Q z = N si D 1t1
t＝0， X＝0～∞，N（x，0）＝0， π
x＝0， N（x，0）＝Ns，
标签：两步扩散，淀积，浓度扩散，杂质浓度
扩散讲稿补充两步扩散
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