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MEMS1

资料介绍
MEMS1
一、MEMS简介
1．定义：
第九章 MEMS加工技术1 由于当今重要的机械和电子系统进一步向微小型化和多功能
化方向发展，进而对相当于感觉器官和运动器官的传感器和执行
器提出了微小型化和多功能化的要求。半导体硅微细加工技术的
日益成熟和完善为传感器和执行器向微小型化发展提供了技术基
岳瑞峰 础。在这种情况下诞生了微电子机械系统(MEMS)这一新型的学
科。
清华大学微电子学研究所 MEMS是microelectromechenical system的缩写。
标签：MEMS，微传感器，微执行器，LIGA，硅微机械，表面微机械
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