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扩散

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第三章 扩散工艺 §1. 扩散原理
一. 扩散流方程
§1 扩散原理
§2 典型工艺
§3 扩散方法
§4 工艺控制和质量监测
2003-4-28 1 2003-4-28 2




以下式表示杂质原子流密度 以上2－1，2－3为Fick’s扩散第
N(x, t) 一、第二定律。
J = D 2-1
x
扩散时质量守衡，J随时间变化与 考虑施加恒定电场E时：
随空间变化相同－－连续性方程 N 2 N ( x, t) N ( x, t )
N J = D E
= 2-2 t x 2
标签：扩散工艺，杂质分布，锑扩散，工艺控制，质量检测，电阻测量
扩散
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