外延工艺控制

上传用户：foolish_girl
上传日期：2009-06-12
文件类型：PDF
文件大小：352.41K
资料积分：0分积分不够怎么办？

资料介绍

外延工艺控制
xcl

§1.扩散原理
§2. 典型扩散工艺方法 §3 工艺控制和质量检测
§4.工艺控制和质量监测
一.工艺控制
二.质量检测

2005-3-11 1 2005-3-11 2

一.工艺控制假片和试片
假假
污染控制：颗粒、有机物、薄膜、金属离子试
片片片
污染来源：操作者,清洗过程,高温处理,工具
参量控制：温度，时间，气体流量(影响最大?)

1.温度控制：源温、硅片温度、升温降温、测温

标签：工艺控制，质量检测，电阻测量，质量分析

外延工艺控制

外延工艺控制

相关资源工艺控制，质量检测，电阻测量

相关新闻工艺控制，质量检测，电阻测量

相关电路工艺控制，质量检测，电阻测量

相关视频

评论

外延工艺控制

相关资源 工艺控制 ，质量检测 ，电阻测量

相关新闻 工艺控制 ，质量检测 ，电阻测量

相关电路 工艺控制 ，质量检测 ，电阻测量

相关视频

评论

相关资源工艺控制，质量检测，电阻测量

相关新闻工艺控制，质量检测，电阻测量

相关电路工艺控制，质量检测，电阻测量