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热超声倒装键合机视觉定位系统的设计与实现

资料介绍
通过对芯片热超声倒装键合工艺过程的研究,结合国内外热超声倒装键合设备发展的现状,研制了一台用于芯片的热超声倒装键合机.

标签：热超声倒装，机械视觉，运动控制，HexSight，，，
热超声倒装键合机视觉定位系统的设计与实现
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