二维激光衍射法在直径测量系统中的应用

一种利用菲涅尔衍射效应精确测量工件直径的方法.该测量系统由处于相互垂直位置的两组激光二极管和线阵CCD组成,利用工件激光衍射图样获取投影边界,以几何方法计算工件直径.本系统以数字信号处理器作为数据处理芯片,用大规模可编程逻辑拓展系统功能并控制CCD的时序.该测量系统具有结构简单,测量精度高,抗干扰性强等特点.


二维激光衍射法在直径测量系统中的应用
黄见洪，史斐，李锦辉，郑晖，许灿华，林季鹏，林文雄
（中国科学院福建物质结构研究所，福建福州３５０００２）

摘要：一种利用菲涅尔衍射效应精确测量工件直径的方法。该测量系统由处于相互垂直位置的
两组激光二极管和线阵ＣＣＤ组成，利用工件激光衍射图样获取投影边界，以几何方法计算工件直径。
本系统以数字信号处理器作为数据处理芯片，用大规模可编程逻辑拓展系统功能并控制ＣＣＤ的时
序。该测量系统具有结构简单，测量精度高，抗干扰性强等特点。
关键词：菲涅尔衍射直径测量ＤＳＰ ＣＰＬＤ ＣＣＤ



Ｔｈｅ ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ｄｉａｍｅｔｅｒ ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ

ｓｖｓｔｅｍ ｂＶ
ｓＶｓｔｅｍ ｂｖ ｕｓｉｎｇ ｔｗｏ―ｄｉｍｅｎｔｉｏｎａｌ ｌａｓｅｒ ｄｉ士士ｒａｃｔｌｏｎ