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基于MEMS工艺的二维风速传感器的设计

资料介绍

　　本文介绍一种基于犕犈犕犁工艺的二维热风速传感器的设计、制造以及测试结果．该传感器采用恒功率工作方式，利用热温差的方法测量风速和风向．本传感器采用犕犈犕犁剥离工艺在玻璃衬底上同时加工出加热电阻和测温电阻，利用简单可靠的加工工艺实现了热隔离和高灵敏度．经过风洞风速风向测试，得知传感器的风速量程超过１０犿／狊，３６０°范围内风向测量误差不超过８°．传感器的响应时间不超过１狊，功耗为１０犿犠．


标签：传感，控制，检测，测试测量
基于MEMS工艺的二维风速传感器的设计
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