摘 要:为解决薄膜生产过程中厚度在线检测问题，以提高产品质量和生产效率，对薄膜厚度在线测量系统进行了研究。基于光学三角法测量原理，以ARM920T为核心处理器、嵌入式Linux为操作系统，构造了系统的软硬件平台，并介绍了系统的硬件组成和软件设计方法。实际生产过程应用表明，该系统能够实现薄膜厚度的在线动态检测和非接触测量，具有高速度、高精度、人机界面友好等特点，在微小厚度变化量的检测领域具有广阔的应用前景。[著者文摘]
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