积分：0分 关键词：金属化，欧姆接触，互连，集成电路，金属布线
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积分：0分 关键词：靶，离子，射程，阻止本领
积分：0分 关键词：薄膜淀积，真空技术，等离子体，化学气相淀积，物理气相淀积，CVD
积分：0分 关键词：RTP，杂质再分布，加热灯源，反应腔，边缘效应，温度测量
积分：0分 关键词：离子注入，注入损伤，退火，优势，局限
积分：0分 关键词：离子注入，射程，入射离子分布，工艺设备
积分：0分 关键词：扩散原理，费克定律，杂质扩散，Fair空位模型，扩散分布
积分：0分 关键词：热氧化，二氧化硅，Deal-Grove模型，质量检测，IC，MOS
积分：0分 关键词：扩散工艺，习题
积分：0分 关键词：微电子，IC制造，圆片制造，薄膜技术，图形技术，掺杂技术，热处理技术，集成工艺
积分：0分 关键词：Maxwell方程，柱形传输系统，波动方程，传输线，同轴线，矩形波，微波网络，散射矩阵，微波器件，谐振腔
积分：0分 关键词：介质波导，光纤，TMm模，TE模，截止
积分：0分 关键词：光纤，介质圆波导，节约折射率，色散方程，HE模，EH模
积分：0分 关键词：谐振腔，品质因素，耦合系数，特性阻抗，微扰
积分：0分 关键词：传输线，同轴线，Laplace方程，TM模，TE波
积分：0分 关键词：矩形波，金属波导，TE波，TM模
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