积分：0分 关键词：刻蚀工艺，品质因数，湿法刻蚀，干法刻蚀，RIE，HDP
积分：0分 关键词：工艺集成，器件隔离，亚微米，CMOS，沟道
积分：0分 关键词：金属化，欧姆接触，互连，集成电路，金属布线
积分：0分 关键词：微电子，RTP，PN结，应用现状，USJ，挑战
积分：0分 关键词：靶，离子，射程，阻止本领
积分：0分 关键词：薄膜淀积，真空技术，等离子体，化学气相淀积，物理气相淀积，CVD
积分：0分 关键词：RTP，杂质再分布，加热灯源，反应腔，边缘效应，温度测量
积分：0分 关键词：离子注入，注入损伤，退火，优势，局限
积分：0分 关键词：离子注入，射程，入射离子分布，工艺设备
积分：0分 关键词：扩散原理，费克定律，杂质扩散，Fair空位模型，扩散分布
积分：0分 关键词：热氧化，二氧化硅，Deal-Grove模型，质量检测，IC，MOS
积分：0分 关键词：扩散工艺，习题
积分：0分 关键词：微电子，IC制造，圆片制造，薄膜技术，图形技术，掺杂技术，热处理技术，集成工艺
积分：0分 关键词：微电子，CMOS，教学计划，上机实验
积分：0分 关键词：刻蚀工艺，品质因数，VLSI，湿法刻蚀，干法刻蚀，物理刻蚀，化学刻蚀，RIE，HDP
积分：0分 关键词：光刻胶，CAR，感光度，对比度，CMTF，光刻工艺
积分：0分 关键词：光刻工艺，图形转移，掩膜版，光刻机，接触式，接近式，投影式
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