摘 要:文章比较了超声波电机常用控制方法的优缺点，简述了超声波电机步进控制原理，研究了超声波电机步进闭环控制法在精密定位中的应用。采取16位绝对值编码器与电机、控制器构成闭环系统，消除开环累计误差，使电机的定位精度保持在了编码器分辨率之内，定位重复度R2=0.9992。[著者文摘]
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