积分:0分 关键词:外延,氧化工艺,扩散工艺,离子注入,CVD,光刻,刻蚀,溅射
积分:0分 关键词:离子注入,射程,核碰撞,电子碰撞,沟道注入,复合靶注入,损伤,退火,移位原子数,P阱,CMOS
积分:0分 关键词:扩散工艺,离子注入,光刻工艺,刻蚀工艺,工艺模拟,SUPREM
积分:0分 关键词:工艺模拟,SUPREM,扩散分布,氧化,离子注入
积分:0分 关键词:离子注入,注入损伤,退火,优势,局限
积分:0分 关键词:离子注入,射程,入射离子分布,工艺设备
积分:0分 关键词:离子注入,射程,核碰撞,库仑散射,入射离子
积分:0分 关键词:IC,外延生长,MASK,曝光技术,氧化,刻蚀,扩散,离子注入,多晶硅沉积,金属层形成