积分:0分 关键词:离子注入,射程,核碰撞,电子碰撞,沟道注入,复合靶注入,损伤,退火,移位原子数,P阱,CMOS
积分:0分 关键词:氧化工艺,二氧化硅膜,氧化膜,热氧化,P阱,CMOS,局部氧化,栅介质
积分:0分 关键词:热氧化,二氧化硅膜,P阱,CMOS