积分:0分 关键词:化学气相淀积,CVD,等离子,二氧化硅,多晶硅,氮化硅
积分:0分 关键词:薄膜淀积,化学气相淀积,CVD,常压,低压,等离子
积分:0分 关键词:薄膜淀积,真空技术,等离子体,化学气相淀积,物理气相淀积,CVD
积分:0分 关键词:化学气相淀积,CVD,化学平衡,质量作用定律,气体流动,边界层,氧化硅