积分:3分 关键词:腐蚀,刻蚀
积分:0分 关键词:外延,氧化工艺,扩散工艺,离子注入,CVD,光刻,刻蚀,溅射
积分:0分 关键词:集成电路工艺,刻蚀
积分:0分 关键词:IC,外延生长,MASK,曝光技术,氧化,刻蚀,扩散,离子注入,多晶硅沉积,金属层形成