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AWM2000系列小流量/无放大气流质量传感器

资料介绍
AWM2000系列小流量/无放大气流质量传感器
气流质量传感器
AWM2000 系列 小流量 / 无放大
特点:
* 双向气流传感
* 实际气体质量流量传感
* 流速 0~30sccm 到 0~1000sccm
* 需另加发热器控制及传感桥路供电电路
技术规格:10.0 ± 0.01VDC
AWM2100V AWM2150V AWM2200V AWM2300V
AWM2000 系列为无源器件,包含两个惠斯顿电桥:一个为闭环的发热 流量范围(刻度) ±200sccm ±200sccm
AWM2000系列小流量/无放大气流质量传感器
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