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MEMS陀螺仪的简单校准 MEMS 陀螺仪特性特性
MEMS 陀螺仪的 理想情况下,测量已知旋转速率时,MEM 陀螺仪会产生可预
测输出。输出具有完美的线性度,并且不存在噪声和偏移。然
简单校准 而,在控制经济成本的制造过程中通常无法做到尽善尽美,因
此就需要更进一步了解 MEMS 陀螺仪误差。偏航角速度
硅陀螺仪及其同类加速度计产品在消费电子设备中应用日益广泛。然 MEMS 陀螺仪响应围绕其预定的旋转轴运动(如图 1 所示)。
而,由于数据准确性欠佳,MEMS 系统却反而使得最终用户体验变得 对于 MEMS 陀螺仪,旋转角速率的测量单位通常采用度/秒。
更糟。 对于模拟输出产品,比例因子一般为度/秒每伏或毫伏。对于
作者:MARK LOONEY 数字产品,比例因子一般为度/秒每最低有效位。
传统上,陀螺仪是用于测量旋转角速率的机械器件,其常见用途 下式提供 MEMS 陀螺仪的一种简单特性模型:
之一就