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硅片直接键合技术的研究

资料介绍
对硅片直接键合技术作了详细的研究，探明了合适的工艺条件，其结果键合的样品界面致密，成品率高。
标签：电力半导体器件，工艺，硅片直接键合技术，研究
硅片直接键合技术的研究
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