资料介绍
在双频激光外差干涉仪中，光学系统的改善很成熟，要想提高测量精度，对外差信号的处理成为了关键。从本质上讲，外差信号的处理方法分为频率解调和相位解调，频率解调法是将干涉仪测量镜运动产生的多普勒频移转化为对应于运动位移的加减系列脉冲，由可逆计数器计数得到测量结果，典型的是锁相倍频计数，以电子倍频、混频及计数电路为基础，对外差信号的多普勒频差进行“放大”计数。在倍频电路中，应根据锁相环的锁定范围合理设计倍频系数，若超出将造成失锁。同时由于倍频后信号的频率很高，对电子技术、电子器件的要求较高，后期电路设计难度增大
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