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EUV来了

资料介绍
EUV基本知识了解

• EUV来了!所谓EUV?
• 发布时间:2009-9-11 18:20:54 来源:中国IC技术交易网

|曾经看过这样一个寓言故事:一棵苹果树终于结果了。第一年,它结了10|
|个苹果,9个被拿走,自己得到1个。第二年,它结了100个果子,被拿走9|
|0个,自己得到10个。但没关系,它还可以继续成长,第三年结1000个果 |
|子。其实,得到多少果子不是最重要的。最重要的是,苹果树在成长!等|
|苹果树长成参天大树的时候,那些曾阻碍它成长的力量都会微弱到可以忽|
|略。不要太在乎果子,成长是最重要的。 |
|日本人H.Kinoshita也许不曾读过这个“做一棵永远成长的苹果树”的故事 |
|,但是,他于1986年首次提出的采用极紫外光(Extreme |
|Ultraviolet,EUV)作为新的芯片图形制作的理念却不断的成熟发展着,|
|虽然历程并不平坦。 |
|EUV技术原本被寄希望于在65nm技术节点被采用,但是随着浸入式光刻、 |
|双重图形等技术的不断涌现,它崭露头角的日子不断的推迟。甚至有人质|
|疑是否真的需要EUV?时至今日,在22nm步步紧逼的时候,早已习惯了DUV|
|光刻的同行们多少有些沮丧的发现,原有的光刻技术已有些“鸡肋”的味道|
|,这是不是意味着EUV的“好日子”即将到来? |
|所谓EUV |
|市场的殷切需求和技术节点的不断进步仿佛是悬在光刻技术头顶的“利剑”|
|,虽然不至于“……
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评论

skyeaglety· 2011-07-02 09:37:22
想看 可惜积分不够 抱歉