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测试技术论文
湿度传感器的发展趋势
摘要：介绍湿敏元件的特性，重点阐述集成湿度传感器、单片智能化湿度/温度传感器的
性能特点及产品分类，最后给出集成湿度传感器典型产品的技术指标。
关键词：集成湿度传感器 单片智能湿度/温度传感器 校准 补偿
在工农业生产、气象、环保、国防、科研、航天等部门，经常需要对环境湿度进行
测量及控制。但在常规的环境参数中，湿度是最难准确测量的一个参数。用干湿球湿度
计或毛发湿度计来测量湿度的方法，早已无法满足现代科技发展的需要。这是因为测量
湿度要比测量温度复杂的多，温度是个独立的被测量，而湿度却受其他因素（大气压强
、温度）的影响。此外，湿度的标准也是一个难题。国外生产的湿度标定设备价格十分
昂贵。
近年来，国内外在湿度传感器研发领域取得了长足进步。湿敏传感器正从简单的湿
敏元件向集成化、智能化、多参数检测的方向迅速发展，为开发新一代湿度/温度测控系
统创造了有利条件，也将湿度测量技术提高到新的水平。
1 湿敏元件的特性
湿敏元件是最简单的湿度传感器。湿敏元件主要电阻式、电容式两大类。
1.1 湿敏电阻
湿敏电阻的特点是在基片上覆盖一层用感湿材料制成的膜，当空气中的水蒸气吸附
在感湿膜上时，元件的电阻率和电阻值都发生变化，利用这一特性即可测量湿度。湿敏
电阻的种类很多，例如金属氧化特湿敏电阻、硅湿敏电阻、陶瓷湿敏电阻等。湿敏电阻
的优点是灵敏度高，主要缺点是线性度和产品的互换性差。
1.2 湿敏电容
湿敏电容一般是用高分子薄膜电容制成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亚
胺、酷酸醋酸纤维等。当环境湿度发生改变时，湿敏电容的介电常数发生变化，使其电
容量也发生变化，其电容变化量与相对湿度成正比。湿敏电容的主要优点是灵敏度高、
产品互换性好、响应速度快、湿度的滞后量小、便于制造、容易实现小型化和集
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