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光刻2

资料介绍
光刻2
光刻胶

光刻胶的组成:由光敏化合物(PAC)、基体树脂和有机溶剂等
第六章 光刻工艺II 混合而成的胶状液体。都是碳基有机化合物。
当受到特定波长光线的作用后
,光刻胶会发生化学反应,使
光刻胶在某些特定溶液(显影
岳瑞峰 液)中的溶解特性发生改变。

正性胶和负性胶。
清华大学微电子所 曝光前对显影液不可溶
而曝光后变成可溶的。
……
光刻2
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