资料介绍
IC虚拟制造-1集成电路虚拟制造技术 前 言
1 集成电路制造工艺模拟
Virtual Fabricate 2 半导体器件模拟
3 模型参数提取
Technology of IC
4 集成电路工艺分析综合
清华大学微电子学研究所
02 19 2002 Virtual Fabricate 1 02 19 2002 Virtual Fabricate 2
前 言 参考书
当前我国的集成电路产业迎来了 超大规模集成电路设计方法学导论
杨之廉 清华大学出版社 2000年1月第三版
一个暂新的发展阶段 若干条集 学位论文 MOS器件虚拟工艺制造 王镇
成电路生产线正在进行重大投资 清华大学微电子所 2001年12月
新建或扩建 使用集成电路虚拟
制造技术 对提高集成电路产业
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