首页|嵌入式系统|显示技术|模拟IC/电源|元件与制造|其他IC/制程|消费类电子|无线/通信|汽车电子|工业控制|医疗电子|测试测量
首页 > 分享下载 > 常用文档 > 外延

外延

资料介绍
外延
xcl




第一章 外延及CVD工艺
§1 外延工艺
一.外延工艺概述
定义:外延(epitaxy)是在单晶衬底上生长一
层单晶膜的技术。新生单晶层按衬底晶
相延伸生长,并称此为外延层。长了外
延层的衬底称为外延片。 图1-1 Si表面原子分辨图象显示出平台是由Si的
二聚物行列组成,这些二聚物行列每生长一层
则改变其取向
2003-4-28 1 2003-4-28 2




(a)
CVD:Chemical Vapor Deposition
晶体结构良好
……
外延
本地下载

评论