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《薄膜淀积工艺(上)》作业

资料介绍
《薄膜淀积工艺(上)》作业

第四章《薄膜淀积工艺》(上)
作业题

1.
当海拔增加时空气压力减小,在海平面上18,000英尺处,大气的压力大约为海平面(等
于760torr)的一半,温度也减少大约70ºC 。这会改变空气分子的速度分布吗?
平均自由程是否改变了? 每一样改变了多少?
2.
如果平均自由程为1cm时,发生分子流和粘滞流状态的转变,这意味着在多大压力下发
生转变? (假设d=3Å,在室温条件下)
3. 如果所感兴趣的反应是:
AB2 [pic] A + 2B
重复例题13.1中所做的计算,假设平衡常数是不变的。
……
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