资料介绍
《薄膜淀积工艺（上）》作业
第四章《薄膜淀积工艺》（上）
作业题
1.
当海拔增加时空气压力减小，在海平面上18,000英尺处，大气的压力大约为海平面（等
于760torr）的一半，温度也减少大约70ºC 。这会改变空气分子的速度分布吗?
平均自由程是否改变了? 每一样改变了多少?
2.
如果平均自由程为1cm时，发生分子流和粘滞流状态的转变，这意味着在多大压力下发
生转变? (假设d=3Å，在室温条件下)
3. 如果所感兴趣的反应是：
AB2 [pic] A ＋ 2B
重复例题13.1中所做的计算，假设平衡常数是不变的。
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