资料介绍
微电子CMOS流程 微电子工艺技术
引 言
集成电路制造工艺流程录像
（美国斯坦福大学）
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引 言
以 清 华 大 学 微 电 子 所 北 方 基 地
工艺原理课程采用讲课与使用多
工艺原理课程采用讲课与使用多 CMOS 工艺为背景，录制了全套工
媒体课件计算机教学相结合。
媒体课件计算机教学相结合。
艺线录象,
艺线录象,购置美国斯坦福大学的
工艺多媒体教学系统中的工艺模
工艺多媒体教学系统中的工艺模 CMOS IC制造工艺录象带。学生可
IC制造工艺录象带。学生可
拟程序，学生通过交互式的模拟
拟程序，学生通过交互式的模拟 以观看这些录象，了解 IC生产车
IC生产车
界面（与实际设备类似），进行
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