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扩散工艺概述

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扩散工艺概述
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第三章 扩散工艺 §1. 扩散原理
一. 扩散流方程 图3.1 扩散流模型

§1.扩散原理
§2.典型工艺
§3.扩散方法
§4.工艺控制和质量监测
2005-3-11 1 2005-3-11 2




以下式表示杂质原子流密度 以上2－1，2－3分别为Fick’
Fick’s扩散
N(x, t) 第一、第二定律。
J = D （2-1）
x N
= D 2N
扩散时质量守衡，J随时间变化与随空间变化
标签：扩散工艺，工艺控制，质量监测
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