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BioMEMS

资料介绍
BioMEMS
Outline
BioMEMS和Microfluidics导论
1. 基本概念
岳瑞峰 2. Biomedical MEMS
3. 微流控芯片实验室

微纳器件与系统研究室
清华大学微电子学研究所
yuerf@tsinghua.edu.cn



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1. 基本概念 BioMEMS
MEMS (microelectromechenical system)
微传感器,微执行器以及信号处理电路和 面向生
BioMEMS
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