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微电子工艺技术.清华大学曾莹-2005课件

资料介绍
引言
第一章氧化工艺
第二章扩散工艺
第三章离子注入工艺
第四章薄膜淀积工艺
第五章外延生长
第六章光刻工艺
第七章刻蚀工艺
第八章金属化工艺
第九章工艺集成技术

软件：SUPREM3
标签：微电子工艺技术
微电子工艺技术.清华大学曾莹-2005课件
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评论

EEPW网友· 2013-11-25 19:46:54
vbtr
liuhaiqiang· 2010-06-19 23:09:36
哈哈 很好的资料
绝对值得收藏
桃花山· 2010-04-06 19:40:55
好书
darlingllw· 2009-11-25 15:25:12
thanks for sharing
xuefei· 2009-03-15 06:34:42
好的希望继续上传。
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