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微电子工艺.清华大学向采兰-2005课件

资料介绍
• 第一、五章外延及CAD－－ －－－－4学时
• 第二、三、四章氧化、扩散及离子注入－10学时
• 第六章光刻－－－－－－－－－4学时
• 第七章刻蚀－－－－－－－－－2学时
• 第八章金属化、封装与可靠性－2学时
• 第九章MENMS制造的关键工艺－4学时
标签：微电子工艺
微电子工艺.清华大学向采兰-2005课件
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