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压力传感器的设计、制造与应用

资料介绍
本书主要介绍压阻型压力传感器的原理、弹性力学应力计算及芯片版图设计;介绍从硅片制备、半导体工艺、微机械加工到芯片封接与引线;介绍压力传感器的技术特性、选用及各种热漂移补偿技术等。
标签：硅片，，压力传感器，，弹性力学
压力传感器的设计、制造与应用
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