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压力传感器的设计、制造与应用
上传用户:
电子产品世界
上传日期:2007-04-20
文件类型:RAR
文件大小:10158.08K
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资料介绍
本书主要介绍压阻型压力传感器的原理、弹性力学应力计算及芯片版图设计;介绍从硅片制备、半导体工艺、微机械加工到芯片封接与引线;介绍压力传感器的技术特性、选用及各种热漂移补偿技术等。……
标签:
硅片
,
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压力传感器
,
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弹性力学
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压力传感器的设计、制造与应用
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