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半导体传感器与微电子机械系统

资料介绍
微电子机械系统(MEMS)是一门把计算机和微型机械设备如传感器、电子管、齿轮、镜子和前襟半导体芯片的制动器等结合起来的技术。……
半导体传感器与微电子机械系统
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