【教材】电子光学仪器原理 之五

本书分为6个文档。
电子光学仪器原理
木崇俊, 陈尔纲, 潘尔达
云南大学出版社
出版地 昆明
目录：
第一章 绪论 ----------------13
1.1 电子光学仪器是认识微观世界的工具 ----------------13
1.2 光学显微镜的限制 ----------------13
1.3 电子光学仪器发展简史 ----------------15
1.4 电子光学仪器的分类 ----------------17
参考文献 ----------------19
第二章 电子光学概要 ----------------20
2.1 电子光学的基本方程 ----------------20
2.2 旋转对称电磁场 ----------------22
2.3 电子在轴对称场中的轨迹方程 ----------------26
2.4 高斯光学性质 ----------------28
2.5 电子透镜光学参量和成像公式 ----------------30
2.5-1 电子透镜的焦点、焦距 ----------------30
2.5-2 透镜成像公式 ----------------32
2.5-3 作图成像法 ----------------33
2.5-4 电镜的典型电子光学光路 ----------------34
2.6 静电透镜 ----------------35
2.6-1 静电透镜焦距公式 ----------------35
2.6-2 浸没透镜 ----------------36
2.6-3 单电位透镜 ----------------37
2.6-4 单光闸 ----------------37
2.6-5 阴极透镜 ----------------39
2.7 磁透镜 ----------------40
2.7-1 磁透镜的分类 ----------------40
2.7-2 磁透镜的电子光学参量 ----------------43
2.8 电子光学系统的像差 ----------------48
2.8-1 球差 ----------------49
2.8-2 慧差 ----------------50
2.8-3 像散和场曲 ----------------51
2.8-4 畸变 ----------------52
2.8-5 轴上像散 ----------------53
2.8-6 色差 ----------------54
2.9 磁透镜的发展 ----------------55
2.9-1 不对称磁透镜 ----------------56
2.9-2 单场透镜 ----------------57
2.9-3 单极靴磁透镜 ----------------58
2.9-4 超导磁透镜 ----------------58
参考文献 ----------------60
第三章 波动电子光学 ----------------61
3.1 电子波 ----------------61
3.2 电子波的相干性 ----------------64
3.3 费涅尔衍射和夫琅和费衍射 ----------------66
3.3-1 惠更斯原理和费涅耳衍射 ----------------66
3.3-2 费涅耳条纹 ----------------68
3.3-3 夫琅和费衍射 ----------------69
3.4 波动电子光学成像公式 ----------------71
3.4-1 电子透镜的波偏差 ----------------71
3.4-2 波动电子光学成像理论 ----------------73
3.5 传递函数 ----------------75
3.5-1 电子光学传递函数的基本概念 ----------------75
3.5-2 部分相干照明对传递函数的影响 ----------------78
3.5-3 色差对传递函数的影响 ----------------79
参考文献 ----------------81
第四章 照明系统 ----------------82
4.1 电子枪的亮度 ----------------82
4.2 三电极电子枪 ----------------84
4.3 电子的热发射、场发射和热场发射 ----------------88
4.4 场发射电子枪 ----------------91
4.5 聚光镜 ----------------94
4.5-1 单聚光镜 ----------------94
4.5-2 双聚光镜 ----------------97
4.5-3 聚光镜设计举例 ----------------98
4.6 照明系统的合轴 ----------------100
4.6-1 合轴要求 ----------------100
4.6-2 合轴调整原理 ----------------100
4.6-3 电磁偏转器 ----------------102
参考文献 ----------------104
第五章 透射式电子显微镜 ----------------105
5.1 一般结构 ----------------105
5.2 透射电镜中像的形成及反差 ----------------107
5.2-1 反差 ----------------107
5.2-2 单原子对电子的散射 ----------------108
5.2-3 多原子样品的散射 ----------------111
5.2-4 透射电镜中的振幅反差 ----------------112
5.2-5 振幅反差的改善——暗场成像法 ----------------113
5.3 透射电镜的分辨率 ----------------113
5.4 透射电镜的成像系统 ----------------116
5.5 透射电镜的像深和焦深 ----------------120
5.6 透射电镜中的电子衍射方法 ----------------122
5.6-1 布喇格公式 ----------------122
5.6-2 电子衍射仪 ----------------123
5.6-3 选区衍射 ----------------124
5.6-4 高分辨率衍射 ----------------126
5.7 相位反差和晶格成像分辨率 ----------------126
5.7-1 干涉与相位反差的初步概念 ----------------127
5.7-2 高分辨晶格像 ----------------129
5.7-3 最佳离焦条件和无像差条件 ----------------131
5.8 透射电镜的调整与操作 ----------------134
5.8-1 费涅耳衍射条纹 ----------------134
5.8-2 成像系统的合轴调整 ----------------135
5.8-3 成像系统的聚焦方法 ----------------136
5.8-4 轴上像散的测量 ----------------138
5.8-5 消像散器 ----------------138
5.8-6 拍摄高分辨本领照片的操作技术 ----------------140
参考文献 ----------------144
第六章 扫描电子显微镜 ----------------145
6.1 工作原理及结构简述 ----------------145
6.2 扫描电镜中各种信息的产生——电子束与样品的相互作用 ----------------149
6.2-1 相互作用区 ----------------149
6.2-2 二次电子发射 ----------------151
6.2-3 背散射电子发射 ----------------156
6.2-4 吸收电子 ----------------158
6.2-5 X射线的产生 ----------------159
6.3 最小有用电子探针直径 ----------------159
6.3-1 最小有用电子探针直径的计算 ----------------159
6.3-2 探针尺寸的波动电子光学计算 ----------------163
6.4 扫描电镜的电子探测器和信噪比 ----------------164
6.4-1 二次电子探测器的基本结构 ----------------164
6.4-2 信噪比 ----------------165
6.4-3 背散射电子探测 ----------------167
6.4-4 闪烁体背散射电子探测器 ----------------169
6.4-5 固体探测器 ----------------170
6.5 扫描电镜的电子光学系统 ----------------171
6.5-1 电子光学光路 ----------------171
6.5-2 电子枪和聚光镜 ----------------172
6.5-3 物镜 ----------------172
6.6 扫描系统及放大倍数控制 ----------------174
6.7 扫描电子显微镜设计举例 ----------------176
6.8 扫描电镜的成像 ----------------181
6.8-1 图像的构成 ----------------181
6.8-2 像素 ----------------182
6.8-3 景深 ----------------182
6.8-4 反差 ----------------183
6.8-5 图像特殊显示 ----------------184
6.9 电子通道图像 ----------------185
6.10 仪器调整及高分辨本领照片的拍摄 ----------------188
6.10-1 安装 ----------------188
6.10-2 电源的稳定性 ----------------188
6.10-3 保证系统的清洁度和真空度 ----------------188
6.10-4 电子光学系统的合轴 ----------------188
6.10-5 电子束斑的调整 ----------------189
6.10-6 光阑的选择 ----------------190
6.10-7 像散的消除 ----------------190
6.10-8 高分辨本领拍摄 ----------------191
参考文献 ----------------198