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半导体词汇

资料介绍
半导体词汇

半导体词汇

转贴:和那个微电子词汇差不多


1.acceptance testing (WAT: wafer acceptance testing)
2. acceptor: 受主,如B,掺入Si中需要接受电子
3. ACCESS:一个EDA(Engineering Data Analysis)系统
4. Acid:酸
5. Active device:有源器件,如MOS FET(非线性,可以对信号放大)
6. Align mark(key):对位标记
7. Alloy:合金
8. Aluminum:铝
9. Ammonia:氨水
10. Ammonium fluoride:NH4F
11. Ammonium hydroxide:NH4OH
12. Amorphous silicon:α-Si,非晶硅(不是多晶硅)
13. Analog:模拟的
14. Angstrom:A(1E-10m)埃
15. Anisotropic:各向异性(如POLY ETCH)
16. AQL(Acceptance Quality
Level):接受质量标准,在一定采样下,可以95%置信度通过质量标准(不同于可靠性,
可靠性要求一定时间后的失效率)
17. ARC(Antireflective coating):抗反射层(用于METAL等层的光刻)
18. Antimony(Sb)锑
19. Argon(Ar)氩
20. Arsenic(As)砷
21. Arsenic trioxide(As2O3)三氧化二砷
22. Arsine(AsH3)
23. Asher:去胶机
24. Aspect ration:形貌比(ETCH中的深度、宽度比)
25.
Autodoping:自搀杂(外延时SUB的浓度高,导致有杂质蒸发到环境中后,又回掺到外延
层)
26. Back end:后段(CONT……
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