资料介绍
半导体的多频率C-V测量和掺杂剖面分析!"#$ `Js !"#$
! PPVJR
^áí=QNVQN^ L
!"#$ ^áí=QNVQ^ !"#$%
^áí=QNVQ^ L !"#$%&'()*+,-./0E ^áí=QNVQN^L_ !" NMM=eò NMM=jeòF NKRLP !"#$%&'()*+, !"#$%&'()* !" !"#$ `Js !"#$% !"#$%& QNVQ^ !"#$%&'()*+ !"#$%&'
QNVQ^
!"#$
!"#$%&' N=jeò
`Js
!"#$%&'()*+,!"#$ E NF !"#$%&'()*+,-.*"
!"#$%&'( E NMM=eòF !" !"#$%&'()EF !"EF QNVQ^ eò NMM=jeò
!"# NMM=eò QM=jeòE !"F !"#$%&'(#$%)*+,-.
^áí=QNVQN^L_
!"#$% NM
!"#$%
i`o !"E N PF !"#$%&'()* QNVQN^L_ !"#$ QNVQ^ !" !"# N !"#$%& !"#$%&'()*+,!" N=jeò !"#$%& P !"#$%&'() NMM=jeò
`Js
!"#$%&'(
!"#$%&'()* `Js !"#$%&'()*+,-./0 QNVQ^ !"# !"#$%&EkEF tGF `Js !"#$%&'()
!" `oq !" `Js !"#$% P !"#$%& !"#$%&'E
!" R
E^pmF SF
!"#$%&'()
G=kEFW =====W
!
2
wZoH `W= `W= oW=
N gEOπE` H` FF !" !" !
NK=jlp
!
OK=
!EQNVQ^HQNVQN^L_F
3
4
PK=^pm
!
5
QK=^pm=
6