应晶体管烧毁机理的研究：Ⅱ.射频烧毁

应晶体管烧毁机理的研究：Ⅱ第ｌ ３ 卷 第 ４期　
１ ９ ９ ４ 年１ ２ 月　

真 空与低 温　
Ｖａ ｃｕ ｕｍ ＆ Ｃ ｒ ｙｏｇ ｅ ｎ ｉ ｃ ｓ 　

１ ８７ 　

微 波Ｇ ａ Ａ ｓ 功率场效 应晶体 管 烧毁　
７ 　， ｌ ； ｆ 　

机理 的研 究 ： Ⅱ ． 射 频烧毁　
＿ － － － ＿ 　 ＿ ● ●

袁 泽 亮　 范垂 祯　
＿ － ＿ ＿ － ＿ ＿ － － 一 　

－ 　， 一 ｆ 　 ９ ， 　 　 ０ 　

（兰州物理研 究所 ） 　

Ｇａ Ａ ｓ 　 ｐ ｏ ｗ ｅ ｒ 　 ＦＥ Ｔ ｓ ： Ｐ ａ ｒ ｔ Ⅱ．Ｒ Ｆ 　 ｂ ｕ ｒ ｎ ｏ ｕ ｔ 　
Ｙｕ ａ ｎ 　 Ｚ ｅｌ 　 ｉ ａ ｎ ｇ 　 Ｆａ ｎ 　 Ｃｈ ｕ ｉ ｚ ｈ ｅ ｎ 　

（ Ｌ ａ ｎ ｚ ｈ ｏ ｎ 　 Ｉ ｎ ｓ ｔ ｉ ｔ ｕ ｔ ｅ 　 ｏ ｆ 　 Ｐ ｈ ｙ ｓ ｉ ｃ ｓ ）

７ 　／ － ／ 　

Ａｂ ｓ ｔ ｒ ａ ｃ ｔ ， Ｍｉ ｃ ｒ ｏ ｗａ ｖ ｅ 　 Ｇａ Ａｓ 　 ｐ ｏ ｗｅ ｒ 　 ＦＥＴ 　 ｃ ｈ ｉ ｐ ｓ 　 ｆ ａ ｂ ｒ ｉ ｃ ａ ｔ ｅ ｄ 　 ｂ ｙ 　 Ｕ Ｓ 　 ｗｈ ｉ ｃ ｈ 　 ａ ｐ ｐｅ ａ ｒ 　
ｂｕ 　 ｒ ｎ ｏｕｔ 　ｄ ｕｒ ｉ ｎｇ 　ｔ ｈｅ 　ＲＦ　 ｔ ｅ ｓ ｔ ｌ ａｇ 　ａ ｒ ｅ 　ｉ ｎｖ ｅ ｓ ｔ ｉ ｇａ ｔ ｅ ｄ 　ｂ ｙ 　ｍ ｅ ａ ｎｓ 　 Ｏｆ 　ｓ ｃａ ｎ ｎｉ ｎｇ 　ｅ ｌ ｅ ｃ ｔ ｒ ｏｎ 　 ｍｉ ｃ ｒ ｏｓ ｃ ｏｐｙ （ＳＥＭ ）ａ ｎｄ 　Ａ ｕｇ ｅ ｒ 　 ｍｉ ｃ ｒ ｏｐｒ ｏｂ ｅ（ＳＡ Ｍ ）． Ｔ ｈ ｅ 　ｐｈｙｓ ｉ ｃ ｓ 　 ｐｒ ｏｃ ｅ ｄｕｒ ｅ 　ａ ｎｄ 　 ｍｅ ｃ ｈａ ｎｉ ｓ ｍ