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基于MEMS共面波导腔的带阻滤波器的设计维普资讯 http://www.cqvip.com
基于 Ｍ Ｅ Ｍ Ｓ共面 波导 腔 的 带 阻滤 波器 的设 计
赵 继 德 ， 李 应 良 ， 马 传 龙 。
（ １ ． 烟 台师范学院物 理与 电子 工程 学院 ，山 东 烟 台 ２ ６ ４ ０ ２ ５； ２ ． 华信 邮电咨询设计研 究院有限公 司， 杭州 Ｉ ３ １ ０ ０ １ ４ ； ３ ． 重庆通信学院 ， 重庆 ４ ０ ０ ０ １ ４ ）
摘 要 ： 应 用 计 算 机 辅 助 设 计 了一 种 基 于 共 面 波 导 结 构 的 Ｍ Ｅ Ｍ Ｓ带 阻 滤 波 器 。研 究 了 微 尺 度 电磁 学 、 力学 、温 度 等 效 应 。 利 用 Ａ ＮＳ ＯＦ的 Ｈ Ｆ Ｓ Ｓ软 件 模 拟 分 析 了滤 波器 的 损 耗 参 数 ， 并 应 用 Ａ ＮＳ ＹＳ软 件 分 析 复 合 结 构 的 热 应 力 分 布 ，得 出 了 阻带 中 心 频 率 在 １ ８ ＧＨｚ的 Ｍ Ｅ ＭＳ带 阻 滤 波 器 件 ，提 供 了一 些 有 意 义 的理 论
分析及应 用。
关 键 词 ： 射 频 微 机 电 系 统 ； 滤 波 器 ； 共 面 波 导 ； 阻 带 ； 微 尺 度 效 应 中 图分 类 号 ：Ｔ Ｎ７ １ ３ ． ５ ；Ｔ Ｎ４ ０ ２ 文 献 标 识 码 ：Ａ 文章编号 ：１ ０ ０ ３ ― ３ ５ ３ Ｘ（ ２ ０ ０ ５ ） ０ ８ ― ０ ０ ３ ４ ― ０ ４
Ｄｅ ｓ ｉ ｇ ｎ ｏ ｆ Ｍ ＥＭ Ｓ Ｃｏ ｐｌ ａ ｎａ ｒ Ｗ ａ ｖｅ ｇ ｕｉ ｄｅ Ｃａ ｖｉ ｔ ｙ Ｂａ ｎｄｓ ｔ ｏ ｐ Ｆｉ ｌ ｔ ｅ ｒ
ＺＨＡ Ｏ Ｊ ｉ － ｄ ｅ ． ＬＩ Ｙｉ ｎ ｇ
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