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LTPS低温多晶硅技术浅析

资料介绍
LTPS低温多晶硅技术浅析LTPS 低温多晶硅技术浅析

一、LTPS 简介
低温多晶硅(Low Temperature Poly-silicon;LTPS,以下以 LTPS 代称)是平板 显示器领域中的又一新技术。继非晶硅(Amorphous-Silicon,以下以 a-Si 代称)之 后的下一代技术。

Polysilicon (多晶硅) 是一种约为 0.1 至数个 um 大小、以硅为基底的材料,由许多硅粒 子组合而成。在半导体制造产业中,多晶硅通常经由 LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 处 理 后 , 再 以 高 于 900C 的 退 火 程 序 , 此 方 法 即 为 SPC (Solid Phase Crystallization) 。然而此种方法却不适合用于平面显示器制造产业,因为玻璃的最高承受……
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